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精密气浮隔振光学平台的主要应用

更新时间:2023-12-13      点击次数:537

精密气浮隔振光学平台能够满足精密负载对振动隔离需求,上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,具有优秀的硬重比和刚性,同时保证了较低的固有频率,具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、哑光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺(四支撑或六支撑结构),半膜片式空气弹簧,采用进口三水平调节阀技术,反应灵敏,响应迅速,在超载偏重的实验条件下,能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构,气室间带有阻尼孔,气动元件全部采用德国FESTO产品,标配优质大功率压缩机,整体结构保证平台有较高的稳定性。

应用:
显微镜系统、激光测试、光学制造、光电仪器研发与测试、生物医疗、精密机械制造、精密化工和无损检测、集成电子电路、拉曼光谱实验、精密检测校准、对振动要求高的仪器设备。
中心为蜂窝/井字钢支撑结构,底板为碳钢,在保证隔振性能得同时,提高了刚性、稳定性,台面精磨;
气浮支架采用囊式空气弹簧,每个支撑腿配备由单独气室;
采用整体焊接四支撑结构,下方为阻尼隔振垫,隔振性能好;
气浮支架底部带有高度调节功能,可以解决地面不平引起的支架扭曲、变形等情况;
采用原装德国FESTO空气伺服系统, 自动调整水平;瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果。


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