精密气浮隔振光学平台能够满足精密负载对振动隔离需求,上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,具有优秀的硬重比和刚性,同时保证了较低的固有频率,具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、哑光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺(四支撑或六支撑结构),半膜片式空气弹簧,采用进口三水平调节阀技术,反应灵敏,响应迅速,在超载偏重的实验条件下,能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构,气室间带有阻尼孔,气动元件全部采用德国FESTO产品,标配优质大功率压缩机,整体结构保证平台有较高的稳定性。