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产品介绍
LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。
技术优势
· 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试
· 最大可用于12英寸以内样品测试
· 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节
· 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试
· PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃
· 满足1μm以上电极/PAD使用
· 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）
· 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计
· 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座
· 显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式
模块介绍
通用参数
常规选型
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验室。
谱量光电可以根据客户实际应用需求，定制配套恒温加热探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询
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