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产品分类CLASSIFICATION
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详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 整体位移精度 | 3um |
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产品介绍
TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来,实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路,实现光电流与IV的双功能检测,是光电芯片/器件测试的理想之选。
技术优势
.模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
. 最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um,样品台精密四维调节;
. 激光显微镜,5档物镜转盘,可引入激光完成光电流测试;
. 满足1um以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
. 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
. 配显微镜三维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。
模块介绍
通用参数
常规选型
相关配件
多种精度,多种夹具类型探针座
同轴线缆,三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套精密型光电测试探针台,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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