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半导体晶圆测试探针台的细节介绍
半导体晶圆测试探针台的细节介绍
更新时间:2024-03-28 点击次数:306
半导体晶圆测试探针台
集成度高,功能实用,性价比的模块化探针台,该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、探针台体等。多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料电阻率测试以及用于搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。
应用领域:
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
细节介绍:
1.显微镜位移装置:
集成高精度高稳定性手动位移台
XYZ行程50mm,精度1um
整体交叉滚珠导轨,高精度,高稳定性
整体材质航空铝合金
2.显微成像系统
可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析,需要红外光源和红外摄像机
选用2X、5X、10X、20X、50X四种物镜,工作距离分别是34.6mm,45mm,34mm,30.8mm,20.5mm,鼻轮支架带五孔鼻轮
3.探针台台体:
底部整体铝合金面包板,表面喷砂氧化黑
两边半圆形探针架,可以放置最多6个探针座,方便放置探针卡
集成4路吸附开关,方便吸附
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显微物镜的接口
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射频探针台在微电子领域的精密应用与维护策略
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