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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 样品台尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 |
|---|---|---|---|
| 样品台行程 | XY轴110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调 | 样品台位移精度 | 3μm |
| 背电极测试功能 | 可引出背电极 | 样品台真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min |
| 样品固定方式 | 环形真空吸附 | 样品台定制化 | 可定制（尺寸/材质/镀金/背光） |
| 探针座行程 | XYZ三轴13mm | 探针座调节精度 | 3μm |
| 探针座固定方式 | 可调磁力吸附（可选配真空吸附，螺丝固定） | 接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 |
| 成像显微镜 | 双目体式显微镜（可升级金相显微镜） | 放大倍数 | ~200倍（最大可升级到~1000倍） |
| CCD | 2000W高清彩色相机 | 显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm |
| 探针座数量 | 标配 3 个 |
产品介绍
TLRH系列 谱量光电 精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
. 最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；
. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；
. 满足1um以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;
. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。
模块介绍
选型表
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套谱量光电 精密型基础测试探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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