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详细介绍
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芯片测试探针台产品介绍
我司根据客户实际应用需求，推出该款结构小巧，功能实用，性价比高的简易模块化探针台，芯片测试探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、隔振平台等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、侧料电阻率测试以及搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。
技术优势
模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；
兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；
兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；
漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；
探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
满足1um以上电极/PAD使用；
加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。
细节展示
通用参数
样品台尺寸 4英寸 | 样品台行程 XY110mm，Z10mm，360°粗调，±5°精调 |
样品台位移精度 3um | 背电极测试功能 可引背电极 |
真空吸附 进口无油真空泵，7L/min | 样品固定方式 环形真空吸附 |
样品台定制化 可定制（尺寸/材质/镀金/背光） | 探针座行程 XYZ13mm |
探针座调节精度 3um | 漏电精度 10pA@同轴线缆/100fA@三同轴线缆 |
固定方式 可调磁力吸附（可选配真空吸附，螺丝固定） | 接口形式 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRX |
成像显微镜 双目体式显微镜（可升级金相显微镜） | 放大倍数 7~200倍（最大可升级到~1000倍） |
CCD 2000W高清彩色相机 | 显微镜二维调节台 XY25mm，精度3um |
显示器 22.5英寸高清HDMI显示器 | 探针座数量 标配3个 |
产品示意图
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域：
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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