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产品介绍
手动探针台在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
谱量光电可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
产品优势
结构紧凑，功能实用，高性价比；
最大可用于12寸以内样品测试；
1微米以上电极/PAD使用；
兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降；
漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）；
精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计；
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用；
模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块；
模块介绍
通用参数
样品台尺寸 4英寸 | 样品台行程 50mm |
位移精度 10μm | 光学放大倍数 270倍高清（体式显微镜） |
漏电精度 100fA/10pA | 针座精度 10μm（可升级1μm/3μm） |
接口形式 BNC/三同轴接口 | 背电极 可引出背电极 |
针座数量 标配2个 |
手动探针台示意图
测试案列
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
产品应用
多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；
产品咨询
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