半导体晶圆测试探针台

产品介绍

谱量根据客户实际应用需求，推出半导体晶圆测试探针台集成度高，功能实用，性价比优异的模块化探针台，该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、探针台体等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料电阻率测试以及用于搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。

技术优势

1.两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附

2.可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调

3.1微米以上电极/PAD使用

4.可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机

5.有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑

6.HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900

7.选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm;30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮

8.集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度lum

9.整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性

10.模块化设计，调节精度 3 微米，可调磁性吸附固定

11.最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程

12.位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调

13.整体位移精度lum,(根据客户要求定制生产)

细节介绍

通用参数

样品台尺寸：         4英寸

样品台行程：         XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调 ±5°精调

整体位移精度：       1μm（可定制）

光学放大倍数：       270倍高清（体式显微镜）

漏电精度：           100fA（KEITHLET2636B实测）

针座精度：           3μm（可升级1μm/0.5μm）

接口形式：           BNC/三同轴接口

背电极：             可引出背电极

针座数量：           标配2个（可升级到6个）

产品示意图

综合表征分析探针台测试案例

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。